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一种微腔滤光器阵列的实现方法，涉及滤光器。提供尤其是其中具有不同厚度腔内介质层的各个滤光器单元的设计和制备方法。所述微腔滤光器阵列的滤光器单元包括位于衬底上的第一反射层和第二反射层、以及位于它们中间具有不同厚度的腔内介质层。微腔滤光器阵列的...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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