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本发明公开了一种多膜片共用自动校正定位机构，包括多路真空板、真空板固定板、移载对接模组和校正底板；所述校正底板设置于移载对接模组上方，真空板固定板安装于校正底板上方，且真空电磁阀安装于校正底板与真空板固定板之间；所述真空板固定板一端下方安装...
该专利属于深圳市博辉特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市博辉特科技有限公司授权不得商用。

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