下载用于制造半导体设备的方法、电子设备和该电子设备的操作方法的技术资料

文档序号:36701574

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种用于制造半导体设备的电子设备的操作方法。该方法包括在电子设备处接收用于半导体设备的光刻工艺的计算机辅助设计(CAD)图像,并且通过使用基于机器学习的模块在电子设备处从CAD图像生成第一扫描电子显微镜(SEM)图像和第一片段(SEG...
该专利属于首尔大学校产学协力团所有,仅供学习研究参考,未经过首尔大学校产学协力团授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。