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用于制造半导体设备的方法、电子设备和该电子设备的操作方法技术
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下载用于制造半导体设备的方法、电子设备和该电子设备的操作方法的技术资料
文档序号:36701574
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公开了一种用于制造半导体设备的电子设备的操作方法。该方法包括在电子设备处接收用于半导体设备的光刻工艺的计算机辅助设计(CAD)图像,并且通过使用基于机器学习的模块在电子设备处从CAD图像生成第一扫描电子显微镜(SEM)图像和第一片段(SEG...
该专利属于首尔大学校产学协力团所有,仅供学习研究参考,未经过首尔大学校产学协力团授权不得商用。
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