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弯月面测量装置及方法、基板处理装置制造方法及图纸
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下载弯月面测量装置及方法、基板处理装置的技术资料
文档序号:36701482
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本发明提供了一种能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。所述弯月面测量方法包括:提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元;使膜与所述多个喷嘴密接,使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上,从而在所述膜上形成检测图案;...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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