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本实用新型公开了砷化镓合成加热装置技术领域的一种砷化镓晶圆合成加热装置，包括固定底座，所述固定底座顶部固定连接有加热室，所述加热室内侧壁上固定连接有两个隔温板；本实用新型通过在每次对砷化镓进行加热制备过程中，先利用涡旋加热管对生长管进行圆周...
该专利属于苏州诺富微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州诺富微电子有限公司授权不得商用。

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