下载图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:36700783

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本发明公开了一种图像传感器以及形成方法,该方法包括:通过刻蚀和外延工艺,在半导体衬底中形成沟槽;在所述沟槽表面形成第一介质层;在所述第一介质层表面形成第二介质层;去除所述沟槽开口附近的部分所述第一介质层和所述第二介质层;形成第一外延层,使所...
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