下载一种两级串联磁悬浮真空泵机组的技术资料

文档序号:36694438

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本实用新型公开了一种两级串联磁悬浮真空泵机组,包括真空泵电机,所述真空泵电机的两侧分别安装有一级扩散器和二级扩散器,真空泵电机的上方设置有两级串联管道,两级串联管道的一端与一级扩散器的出气口连通,两级串联管道的另一端与二级扩散器的进气口连通...
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