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柔性自支撑铁电薄膜及其制备方法技术
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文档序号:36693079
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本发明公开一种柔性自支撑铁电薄膜及其制备方法,其中,柔性自支撑铁电薄膜包括柔性基底层、电极层及功能层,所述电极层形成于所述柔性基底层;所述功能层形成于所述电极层,所述功能层为具有铁电性能的多层结构薄膜。本发明的技术方案的柔性自支撑铁电薄膜可...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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