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本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，公开了本实用新型优选实施例的一种具有自动定位功能的芯片检测装置，包括载物盘、定位机构、移动平台、摄像机、光源和控制处理器，载物盘的直径小于放置在其上的晶圆的直径，定位机构至少设置三个，定位机构围绕载物盘的...
该专利属于广东天基光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东天基光电有限公司授权不得商用。

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