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一种真空泵控制系统技术方案
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文档序号:36675107
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本实用新型公开了一种真空泵控制系统,包括真空泵和真空管路,所述真空管路一端与需要真空环境的真空室连通,所述真空管路另一端与真空泵连通,且所述真空管路上设有真空阀,所述真空阀采用常闭气动真空挡板阀,所述真空阀与压缩空气通过控制管路连通,所述控...
该专利属于米洛创新(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过米洛创新(深圳)有限公司授权不得商用。
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