下载一种检测装置及检测系统的技术资料

文档序号:36664329

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本申请涉及一种检测装置及检测系统,检测装置包括:抽气组件,通过管道与待检测件内部连通,并用于将待检测件内部气体抽出;检测组件,设置于所述抽气组件与所述待检测件之间,且分别与抽气组件及待检测件连通,用于检测从所述待检测件内部抽出的气体中目标气...
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