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本实用新型提供一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置，包括进料装置即夹具的主体，所述主体的一侧设置有防护罩，所述防护罩另一侧且在主体上设置有夹取头，所述夹取头由固定连接在主体上的安装板以及设置在安装板上的定夹板和侧夹板组成，所述侧...
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