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一种封装件制造技术
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下载一种封装件的技术资料
文档序号:36646302
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本申请公开了一种封装件,包括:基板,具有声孔和环绕所述声孔的凹槽;MEMS芯片,包括具有空腔的衬底、形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔的振膜,其中,所述衬底的下方具有环绕所述空腔的凸起,所述凸起与所述凹槽匹配卡合;粘合剂,涂覆在所述凸起的外...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。
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