下载一种电子混合气体配制系统的技术资料

文档序号:36631750

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本实用新型涉及气体存储领域,具体公开了一种电子混合气体配制系统,包括配制柜以及位于配制柜内的混合气充气装置,还包括残余气体排出洗涤单元,残余气体排出洗涤单元包括气体检测报警器、排气管道、排气动力部、连接管以及对配制柜内有害气体进行洗涤的第一...
该专利属于欧中电子材料(重庆)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过欧中电子材料(重庆)有限公司授权不得商用。

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