下载集成PCB线圈膜片泵的粉尘浓度传感器的技术资料

文档序号:36627014

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本实用新型涉及一种集成PCB线圈膜片泵的粉尘浓度传感器,该粉尘浓度传感器包括储气腔、第一气体通道和第二气体通道。储气腔至少具有局部可形变的部分,部分产生形变,以使储气腔的容积扩大或缩小。第一气体通道的第一端连通于外界,第二端连通于储气腔,第...
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