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本发明公开一种柔性压电能量收集器及其制备方法,包括:在衬底的第一表面形成图形化的牺牲层;在牺牲层远离衬底的表面形成底电极;在底电极远离牺牲层的表面采用奇偶层差异退火工艺形成压电层;在压电层远离底电极的表面形成顶电极;腐蚀牺牲层将压电结构转印...该专利属于国网上海市电力公司国家电网有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国网上海市电力公司国家电网有限公司授权不得商用。
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