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本发明的一种基于点阵扫描法完成复合运动镀膜均匀性的评估系统，属于真空镀膜技术领域，共包括两组模型工件，两组模型工件分别被安装在两个多自由度工作平台上，其中一组模型工件围绕多自由度工作平台的中心进行公转，另一组模型工件围绕其中心进行自传；将模...
该专利属于北京中科科美科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科美科技股份有限公司授权不得商用。

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