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一种低渗透率长寿命碱金属原子气室及其制备方法技术
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下载一种低渗透率长寿命碱金属原子气室及其制备方法的技术资料
文档序号:36604951
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本申请涉及原子气室领域,具体公开了一种低渗透率长寿命碱金属原子气室及其制备方法。碱金属原子气室包括:透明外壳,围绕形成碱金属原子气室的主腔室;阻挡膜层,涂覆于透明外壳的内壁,阻挡膜层包括Al2O3膜或AlN膜。本申请提供的方案在不影响原子气...
该专利属于北京航天控制仪器研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京航天控制仪器研究所授权不得商用。
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