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用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装置制造方法及图纸
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下载用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装置的技术资料
文档序号:36601176
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提供了用于获得具有低至几纳米的空间分辨率的极高灵敏度的化学成分图的方法及装置。在一些实施例中,能够通过组合三种技术生成该化学成分图:(1)使用红外辐射照射样本,而不是调谐到样本的吸收带;(2)优化调谐到特定靶材的机械耦合效率;(3)优化调谐...
该专利属于布鲁克纳米公司所有,仅供学习研究参考,未经过布鲁克纳米公司授权不得商用。
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