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本发明公开了温度特性以及老化特性优异的物理量传感器、物理量传感器装置及其制造方法。物理量传感器(10)包括：基部(20)；第一臂部(31)、第二臂部(32)以及第三臂部(33)，连结于基部(20)，并分别设置有固定部(80)；可动部(40)...
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