下载致动器、液体喷射头、液体喷射单元、喷射液体的装置的技术资料

文档序号:36589525

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本发明提供一种提高可靠性的致动器、液体喷射头、液体喷射单元、喷射液体的装置。致动器(10)包括具有开口(102a)的可变形的薄膜部件(102),和配置在薄膜部件(102)的一面侧的开口(102a)的周围的压电元件(103),并设置有覆盖压电...
该专利属于株式会社理光所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社理光授权不得商用。

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