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本发明提供了一种特征频带的获取方法、等离子体处理过程的监控方法、系统和存储介质，包括将监控事件前的光谱数据和之后的光谱数据进行对比，选出在事件后变化最大的频带作为特征频带，以确定事件的准确发生时间，克服了光谱仪分辨率低，等离子体反应腔环境复...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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