下载一种光学元件封装系统、方法及应用的技术资料

文档序号:36572279

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本发明公开了一种光学元件封装系统,包括:光源,用于提供照明光线;数字微镜阵列,由若干个可独立偏转的反射镜排列组合而成,各个反射镜分别对照明光线进行反射;投影物镜,用于将反射镜反射的照明光线投射至器件衬底的对应位置上;上位机,通信连接至数字微...
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