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一种硅片的转移机构制造技术
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下载一种硅片的转移机构的技术资料
文档序号:36555929
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本实用新型提供了一种硅片的转移机构,包括工作台,还包括:硅片放置盒,由底板和周边的限位杆组成,堆叠放置有若干硅片;转移机构,移动部上设有吸盘,所述吸盘用于取放硅片;输送机构,为设置在Y轴方向的皮带输送机构;顶升机构,设置在硅片放置盒的下方,...
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