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多功能机械手及其晶圆加工装置制造方法及图纸
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文档序号:36545724
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本实用新型公开了一种多功能机械手,包括底座,底座侧方固定有吸盘机械手,与吸盘机械手所在侧壁的相对侧壁设置旋转切割组件,与吸盘机械手所在侧壁的相邻侧壁设置视觉系统,视觉系统的朝向与旋转切割组件的朝向一致。本实用新型通过六轴机械臂控制多功能机械...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。
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