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本发明提供了一种化学气相沉积金刚石系统及设备，包括腔体、腔体盖、沉积台、环形微波馈入窗、波导、同轴波导、倒置型基片台组件密封装置和倒置型基片台组件，腔体、腔体盖、沉积台、环形微波馈入窗、同轴波导、倒置型基片台组件密封装置和倒置型基片台组件围...该专利属于深圳优普莱等离子体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳优普莱等离子体技术有限公司授权不得商用。
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