下载一种碳化硅晶体、籽晶及衬底的技术资料

文档序号:36543402

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本申请公开了一种碳化硅晶体,属于半导体材料领域。该碳化硅晶体具有第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面,第一主表面和/或第二主表面具有形核形貌,形核形貌具有形核中心点,碳化硅晶体的中轴线贯穿第一主表面和第二主表面,中轴线与第一主表面和/或...
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