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本发明涉及一种碳化硅晶片高效蚀刻设备，包括碳化硅晶片蚀刻工装、自动上料装置，碳化硅晶片蚀刻工装的旋转工装吊柱上沿上下向设有多个间隔排列的托盘部件，托盘部件的托盘架四周环设有多个托盘悬臂，托盘悬臂上的蚀刻托盘上设有托盘槽，自动上料装置的旋转上...
该专利属于杭州科技职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过杭州科技职业技术学院授权不得商用。

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