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本申请提供一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置，其中方法包括：采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据；根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值；根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述...
该专利属于安徽京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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