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本发明公开了一种半导体基板的洁净控制系统及方法、洁净设备，该洁净控制系统用于实现对放置于洁净反应腔内需要清洁的半导体基板的洁净控制，且该洁净控制系统包括：气体输送控制单元，用于向洁净反应腔输送第一类气体，第一类气体至少包括参与形成中间体的第...
该专利属于广州湾区半导体产业集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州湾区半导体产业集团有限公司授权不得商用。

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