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一种全介质GMR型古斯汉森位移传感芯片制造技术
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文档序号:36505012
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本发明公开了一种全介质GMR型古斯汉森位移传感芯片,由三层结构组成,底层为透明介质基底,中间层为介质薄膜,上层为周期性排列的超表面光栅阵列;所述的介质薄膜的材料是高折射率低损耗的介质;所述的超表面光栅阵列的材料是较低折射率低损耗的介质;所述...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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