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本申请涉及一种化学气相沉积法制备碳化硅原料的装置及方法，包括炉体、石墨件、供气系统、真空泵和储水容器；石墨件设置在炉体内部，用于固定加热待沉积样品，炉体的底部设有进气管，该进气管连接供气系统，供气系统用于向炉体内输送沉积用气源气体，炉体的顶...
该专利属于苏州冠岚新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州冠岚新材料有限公司授权不得商用。

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