下载一种单晶硅用原生硅棒石墨电极夹头的技术资料

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本实用新型涉及硅棒石墨电极夹头技术领域,公开了一种单晶硅用原生硅棒石墨电极夹头组件,包括石墨夹瓣,石墨夹座,石墨密封垫片,夹头本体的外表面设有氮化硅层。所述石墨座上端开设有石墨卡瓣插槽,所述石墨卡瓣插槽内部插接有石墨卡瓣,所述石墨卡瓣外侧设...
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