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一种安装于加热炉丝和外壳中间的硅片加热炉辅助加热板制造技术
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下载一种安装于加热炉丝和外壳中间的硅片加热炉辅助加热板的技术资料
文档序号:36480135
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本实用新型涉及加热炉领域,公开了一种安装于加热炉丝和外壳中间的硅片加热炉辅助加热板,包括外壳,所述外壳的内部设置有两个辅助加热板,两个所述辅助加热板分别连接在外壳的上下两内侧壁上,两个所述辅助加热板之间设置有主炉丝卷,所述主炉丝卷的两端分别...
该专利属于湘阴普拓智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘阴普拓智能装备有限公司授权不得商用。
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