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本发明公开了一种大幅宽激光清洗装置，用于激光清洗技术领域，包括：激光器，用于产生主激光；清洗头，包括：透镜组、准直器、分光镜组、振镜组和场镜组；所述主激光依次经过所述透镜组、所述准直器、所述分光镜组分为至少两束分激光，至少两束分激光入射所述...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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