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本发明属于真空技术领域，具体公开了一种自动控制真空压力的方法及其控制系统，该系统包括依次连接的真空泵、分子泵和高真空腔，所述高真空腔设有外接被检真空仪表的测试口，该系统还包括真空压力检测组件和压力调整组件；真空压力检测组件用于检测反馈高真空...
该专利属于太原太航德克森自控工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过太原太航德克森自控工程股份有限公司授权不得商用。

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