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本实用新型提供了一种波导装置。波导装置包括:波导片;耦入光栅;转折光栅,转折光栅为二维光栅;耦出光栅,转折光栅和耦出光栅分别设置在波导片的两侧表面上,且转折光栅和耦出光栅在波导片上的投影至少部分重合;监测耦出光栅,监测耦出光栅为一个或多个,...该专利属于舜宇奥来半导体光电(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过舜宇奥来半导体光电(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种波导装置。波导装置包括:波导片;耦入光栅;转折光栅,转折光栅为二维光栅;耦出光栅,转折光栅和耦出光栅分别设置在波导片的两侧表面上,且转折光栅和耦出光栅在波导片上的投影至少部分重合;监测耦出光栅,监测耦出光栅为一个或多个,...