下载一种芯棒仓结构的技术资料

文档序号:36429407

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本实用新型公开了一种芯棒仓结构,包括箱体、下仓架、上仓架和排氧装置,箱体内设有隔离设置的预备腔和上料腔,所述预备腔与排氧装置相连接,下仓架固定配置于上料腔内,所述上仓架能够在预备腔与上料腔内转运,所述预备腔和上料腔之间设有供上仓架通过的通道...
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