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本发明涉及半导体加工领域，公开了一种聚焦离子束辅助加工方法、装置、设备及计算机可读存储介质，采用深度学习方法训练至少与一离子束参数对应的神经网络模型，采用训练好的神经网络模型预测二维图形铣削后的SEM图像，以模拟特定目标介质特征类型的FIB...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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