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本实用新型公开了一种三氯氢硅换热器的泄漏检测系统，包括换热器，用于气相三氯氢硅的换热；以及换热器的出口主管路，用于输出冷冻盐水；在所述主管路上并联一旁路，所述旁路上设有依次相连的取样加热器和远传pH计，冷冻盐水流经取样加热器和远传pH计后汇...
该专利属于天津辰力工程设计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津辰力工程设计有限公司授权不得商用。

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