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本发明提供了一种研磨设备的监控方法、装置、系统和存储介质，包括通过拾音检测设备获取所述研磨设备中待检测器件对应的拾音检测信号；根据所述拾音检测信号和所述研磨设备的设备参数，确定所述待检测器件的磨损程度；若所述磨损程度大于预设磨损程度，输出对...
该专利属于中国中材海外科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国中材海外科技发展有限公司授权不得商用。

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