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本说明书实施例提供一种薄膜探针卡组件，包括探针头、薄膜和衬板，探针头包括支撑件，薄膜的第一面固定于支撑件，薄膜的第二面开设有多个填充孔，填充孔中填充有柔性材料，衬板焊接于薄膜的第二面，设有与填充孔对应数量的经由切割形成的悬臂结构，悬臂结构的...
该专利属于上海泽丰半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海泽丰半导体科技有限公司授权不得商用。

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