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本发明公开的一种基于多模态声波器件的芯上实验室及其制备方法与应用，所述基于多模态声波器件的芯上实验室包括柔性衬底、沉积在柔性衬底上的ZnO薄膜以及固定在ZnO薄膜上的第一IDT电极和第二IDT电极；第一IDT电极的指向区域与第二IDT电极的...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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