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本实用新型公开一种磁控溅射镀膜线防跑偏真空腔室，包括真空腔箱体（1），真空腔箱体（1）内设有机架（2），机架（2）上连接一组水平设置的输送辊道（3），其特征在于：所述输送辊道（3）的轴向两边侧分别设有一组沿输送方向设置的矫正辊（4），每组矫...该专利属于中建材光电装备（太仓）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中建材光电装备（太仓）有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种磁控溅射镀膜线防跑偏真空腔室，包括真空腔箱体（1），真空腔箱体（1）内设有机架（2），机架（2）上连接一组水平设置的输送辊道（3），其特征在于：所述输送辊道（3）的轴向两边侧分别设有一组沿输送方向设置的矫正辊（4），每组矫...