下载图像传感器及其制作方法的技术资料

文档序号:36355728

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本发明提供一种图像传感器及其制作方法。本发明光电二极管组中包含的多个光电二极管在衬底上的投影包围浮动扩散部在衬底上的投影。组内深沟槽隔离设置在光电二极管组内的相邻的光电二极管之间。组内深沟槽隔离包括沿第一方向设置的第一线沟槽隔离与沿第二方向...
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