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用于检测引导热辐射的传感器和方法技术
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下载用于检测引导热辐射的传感器和方法的技术资料
文档序号:36330644
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本公开的各实施例总体上涉及用于检测引导热辐射的传感器和方法。一种流体传感器,包括具有顶部主表面区域的支撑结构,其中,支撑结构的顶部主表面区域形成传感器的公共系统平面。该流体传感器还包括在支撑结构的顶部主表面区域上的热发射器,其中,热发射器被...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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