温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种教学用芯片制造设备，包括有操作台，所述操作台上设置有用于厘米或毫米级芯片制作的匀胶装置、烘焙装置、显影清洗装置、光刻装置、刻蚀装置、掺杂装置。本发明结构简单、占用空间小、成本低、安全性高、制备快速，可由学生自己参与芯片制作过...
该专利属于浙江三和科教仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江三和科教仪器有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。