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本发明公开了一种高密度大气压碳氟等离子体射流的产生方法，属于大气压低温等离子体应用领域。本方法采用CF4或Ar/CF4混合气体作为工作气体，使用脉冲调制微波电源激励放电，基于同轴谐振腔原理设计放电装置，在装置开口端产生局域增强电场，高效电离...该专利属于国网安徽省电力有限公司马鞍山供电公司所有，仅供学习研究参考，未经过国网安徽省电力有限公司马鞍山供电公司授权不得商用。
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