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本申请公开了一种大尺寸单轴的MEMS振镜，包括框架呈环形；振镜位于框架内部，振镜包括中心轴；一对扭转轴对称设置在振镜两侧，一对扭转轴与中心轴同轴设置，且扭转轴一端与框架固定，另一端与振镜的外环面固定；一对驱动单元，对称设置在振镜两侧，驱动单...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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