下载非对称融合视觉传感器像素结构及其制备与信号控制方法的技术资料

文档序号:36288580

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本发明涉及非对称融合视觉传感器像素结构及其制备与信号控制方法,该动态视觉传感器像素包括:混合型衬底,氧化埋层,三个像素有源区,两个读出晶体管有源区,欧姆接触区域,三个顶层硅沟道区,以及在沟道区之上的栅氧化层,栅极,两个深槽隔离侧墙,一个浅槽...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

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